Harava - Puolijohdekysely
Harava - Puolijohdekysely
Paikanna
Ajax loader
Karttatasoja ladataan
1/6 Aloitus ja täyttöohje

    ALOITUS

    Suomen ympäristökeskus selvittää kyselyn avulla fluorattujen kasvihuonekaasujen, dityppioksidin sekä eräiden lämmönsiirtonesteiden käyttöä puolijohteiden valmistuksessa, testauksessa sekä laitteistojen puhdistamisessa. Tiedonkeruu perustuu ympäristönsuojelulain (527/2014) 165 §:ään. Tietoja käytetään kasvihuonekaasupäästöjen laskemiseen Suomen kasvihuonekaasuinventaariossa.

    Tietosuojailmoitus fluorattujen kasvihuonekaasujen kyselylomakkeisiin liittyvien henkilötietojen käsittelystä.

    Huom! Kyselylomake toimii parhaiten Google Chrome ja Microsoft Edge -selaimilla.

    TÄYTTÖOHJE

    1. Kyselyssä tähdellä merkityt kohdat ovat pakollisia tietoja.

    2. Täytä ensin yrityksen tai toiminimen yhteystiedot sekä raportointivuosi. Raportointivuosi on vuosi, jonka tietoja raportoidaan eli edellinen päättynyt kalenterivuosi.

    3. Varsinainen puolijohdekysely on sivuilla 3-4. Kukin osio on omalla sivullaan. Eri osioiden välillä voi liikkua kullakin kyselysivulla olevilla painikkeilla 'Seuraava' ja 'Edellinen' tai valitsemalla osio kyselyn vasemmassa reunassa olevasta listasta.

    4. Kyselyn jokaisella sivulla on tarkemmat ohjeet, kuinka kysytyt tiedot täytetään. Huom! Harava-palvelun oikeasta yläkulmasta löytyy myös Ohje-painike, mutta puolijohdekyselyn tarvittavat ohjeet on kuvattu itse kyselysivuilla ja sinun ei tarvitse välittää oikean yläkulman Ohje-painikkeen takaa löytyvistä ohjeista.

    Vastauksen lähetys

    5. Kun olet täyttänyt toimintaanne koskevat osiot, paina lopuksi kyselyn viimeisellä sivulla (6 Palaute ja kyselyn lähetys) painiketta 'Lähetä', jolloin kysely tallentuu tietokantaamme.
    2/6 Raportointivuosi ja yhteystiedot

      RAPORTOINTIVUOSI

      Raportointivuosi
      Raportointivuosi on vuosi, jonka tietoja raportoidaan, eli edellinen päättynyt kalenterivuosi.

      YHTEYSTIEDOT

      Yritys/toiminnanharjoittaja

      Y-tunnus
      Merkkejä jäljellä: 20
      Yrityksen nimi
      Merkkejä jäljellä: 100
      Osoite
      Merkkejä jäljellä: 100
      Postinumero
      Merkkejä jäljellä: 10
      Postitoimipaikka
      Merkkejä jäljellä: 100
      Sähköposti
      Merkkejä jäljellä: 100
      Puhelinnumero
      Merkkejä jäljellä: 100

      Yhteyshenkilö

      Nimi
      Merkkejä jäljellä: 100
      Sähköposti
      Merkkejä jäljellä: 100
      Puhelinnumero
      Merkkejä jäljellä: 100
      Lisätietoja-kenttään voit tarvittaessa täyttää yritykseen liittyviä lisätietoja (esimerkiksi ilmoittaa toiminnan päättymisestä).
      Lisätietoja
      Merkkejä jäljellä: 2500
      3/6 Puolijohteiden valmistuksessa käytetyt kaasut

        FLUORATTUJEN KASVIHUONEKAASUJEN JA DITYPPIOKSIDIN KÄYTTÖ PUOLIJOHTEIDEN VALMISTUKSESSA

        Käyttikö yrityksenne fluorattuja kasvihuonekaasuja tai dityppioksidia puolijohteiden valmistuksessa raportointivuonna?

        Mikäli käytti, täytä kaasujen määrätiedot kilogrammoina. Kaasuista F2, COF2 ja ClF3 eivät ole fluorattuja kasvihuonekaasuja, mutta ne saattavat muodostaa CF4-kaasua kammioiden puhdistuksen yhteydessä. Mikäli olette käyttäneet puolijohteiden valmistuksessa jotakin muuta fluorattua kasvihuonekaasua, kuin alla mainitut, täytä kaasun tiedot Muu, mikä?-kohtaan.

        Täytettyäsi kaikkien kaasujen tiedot, siirry kyselyn seuraavaan osioon painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' tai valitse osio kyselyn vasemman reunan listasta.
        CF4 (cas-numero 75-73-0) (kg)
        C2F6 (cas-numero 76-16-4) (kg)
        C3F8 (cas-numero 76-19-7) (kg)
        c-C4F8 (cas-numero 115-25-3) (kg)
        C4F8O (cas-numero 335-42-2) (kg)
        C4F6 (cas-numero 685-63-2) (kg)
        C5F8 (cas-numero 559-40-0) (kg)
        CHF3 (cas-numero 75-46-7) (kg)
        CH2F2 (cas-numero 75-10-5) (kg)
        C2HF5 (CAS-numero 354-33-6) (kg)
        CH3F (CAS-numero 593-53-3) (kg)
        NF3 (cas-numero 7783-54-2) (kg)
        SF6 (cas-numero 2551-62-4) (kg)
        N2O (cas-numero 10024-97-2) (kg)
        F2 (cas-numero 7782-41-4) (kg)
        COF2 (cas-numero 353-50-4) (kg)
        ClF3 (cas-numero 7790-91-2) (kg)
        Muu, mikä?
        Merkkejä jäljellä: 100
        Muu (kg)
        Muu, mikä?
        Merkkejä jäljellä: 100
        Muu (kg)
        4/6 Lämmönsiirtonesteiden käyttö

          LÄMMÖNSIIRTONESTEIDEN KÄYTTÖ PUOLIJOHTEIDEN VALMISTUKSESSA, TESTAUKSESSA TAI LAITTEISTOJEN PUHDISTAMISESSA

          Käyttikö yrityksenne lämmönsiirtonesteitä (mm. Fluorinert tai Galden) puolijohteiden valmistuksessa, testauksessa tai laitteistojen puhdistamisessa raportointivuonna?

          Mikäli käytti, täytä tiedot erikseen jokaiselle käyttämällenne lämmönsiirtonesteelle. Valitse ensin käytetty lämmönsiirtoneste. Mikäli valitsit 'Muu, mikä?', kirjoita lämmönsiirtonesteen nimi tätä varten avautuvaan kenttään. Syötä tämän jälkeen yrityksenne käyttämät tai varastoimat lämmönsiirtonestemäärät litroina

          Tallenna tiedot painamalla painiketta 'Tallenna ja syötä uusi'. Tämän jälkeen voit syöttää mahdollisten muiden lämmönsiirtonesteiden tiedot samalla tavalla. Tallennetut tiedot näkyvät taulukkona sivun alareunassa. Mahdollisen virheellisen raportoitavan tiedon voi poistaa painamalla painiketta 'Poista vastauskerta'. Täytettyäsi kaikkien lämmönsiirtonesteiden tiedot, siirry kyselyn seuraavaan osioon painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' tai valitse osio kyselyn vasemman reunan listasta.
          Lämmönsiirtoneste
          Pulloissa/säiliöissä ollut lämmönsiirtonesteen määrä raportointivuotta edeltävän vuoden lopussa
          Raportointivuoden aikana yritykseenne ostettu lämmönsiirtonesteen määrä
          Raportointivuoden aikana toimittajalle palautettu lämmönsiirtonesteen määrä
          Raportointivuoden aikana uusiin laitteisiin täytetty lämmönsiirtonesteen määrä
          Raportointivuoden aikana laitteistojen käytöstäpoiston tai myynnin yhteydessä talteenotettu lämmönsiirtonesteen määrä
          Raportointivuoden aikana hävitykseen toimitettu lämmönsiirtonesteen määrä
          Pulloissa/säiliöissä ollut lämmönsiirtonesteen määrä raportointivuoden lopussa
          5/6 Liitteet

            LIITTEET

            Jos haluat liittää vastaukseesi liitetiedostoja, voit tehdä sen tässä kohdassa. Mikäli liitettäviä tiedostoja ei ole, painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' siirryt kyselyn seuraavaan osioon.

            Liitetiedostojen tulee olla avattavissa yleisimmillä ohjelmilla, kuten Microsoft Office -järjestelmän ohjelmat tai Adobe Acrobat. Liitetiedoston enimmäiskoko on 5 MB. Liitetiedostot tarkistetaan haittaohjelmien varalta. Vastaanottaja pidättää oikeuden poistaa mahdolliset haittaohjelmat liitetiedostoista. Liitetiedostoissa ei saa olla suoritettavaa koodia eikä ohjelmia, esim. makroja.

            Liitetiedosto haetaan 'Valitse'-painikkeen avulla. Haettuasi tiedoston, paina painiketta 'Lataa tiedosto järjestelmään' ja sen jälkeen sivun alareunassa olevaa painiketta 'Tallenna ja syötä uusi', jolloin tiedosto tallentuu kyselyyn. Tämän jälkeen voit hakea mahdolliset muut liitetiedostot samalla tavalla. Tallennetut liitetiedostot näkyvät taulukkona sivun alareunassa. Mahdollisen virheellisen liitetiedoston voi poistaa painamalla painiketta 'Poista vastauskerta'. Haettuasi kaikki liitetiedostot, siirry kyselyn seuraavaan osioon painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' tai valitse osio kyselyn vasemman reunan listasta.
            Liitetiedosto
            Poista liite
            Hyväksytyt tiedostomuodot:
            csv, doc, docx, gif, ics, jpeg, jpg, mov, mpeg, pdf, pdf, png, ppt, pptx, swf, txt, wmv, xls, xlsx
            Tiedoston enimmäiskoko: 5 Mb
            6/6 Palaute ja kyselyn lähetys

              PALUTE JA KOMMENTIT

              Otamme mielellämme vastaan mahdolliset kyselyä tai kyselylomaketta koskevat kommenttinne.
              Palaute
              Merkkejä jäljellä: 2500

              KYSELYN LÄHETYS

              Lähetä kysely painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Lähetä'.

              LISÄTIETOJA KYSELYSTÄ

              Suunnittelija Tommi Forsberg, Suomen ympäristökeskus, Kulutuksen ja tuotannon keskus/Teollisuuden ympäristönsuojelu, etunimi.sukunimi@syke.fi, puhelin +358 295 251 116.