Harava - Puolijohdekysely
Harava - Puolijohdekysely
Paikanna
Ajax loader
Karttatasoja ladataan
1/8 Aloitus ja täyttöohje

    ALOITUS

    Suomen ympäristökeskus selvittää kyselyn avulla fluorattujen kasvihuonekaasujen, dityppioksidin sekä eräiden lämmönsiirtonesteiden käyttöä puolijohteiden valmistuksessa, testauksessa sekä laitteistojen puhdistamisessa. Tiedonkeruu perustuu ympäristönsuojelulain (527/2014) 165 §:ään. Tietoja käytetään kasvihuonekaasupäästöjen laskemiseen Suomen kasvihuonekaasuinventaariossa.

    TÄYTTÖOHJE

    Käy läpi kyselyn sivut järjestyksessä. Tähti-merkillä (*) merkittyihin kysymyksiin täytyy vastata, jotta kyselyn voi lähettää. Seuraavalle kyselyn sivulle pääsee siirtymään aina kunkin sivun oikeassa alakulmassa olevalla painikkeella 'Seuraava'. Varsinainen puolijohteiden valmistusta koskeva kyselylomake on sivulla 4. Sivulla 6 kerätään tietoja puolijohteiden valmistuksessa käytetyistä lämmönsiirtonesteistä. Jos haluat liittää vastaukseesi liitetiedostoja, voit tehdä sen sivulla 7.

    Kun olet käynyt kaikki kyselyn sivut läpi, paina lopuksi viimeisellä sivulla painiketta 'Lähetä', jolloin kysely tallentuu tietokantaamme.

    HUOM! Harava-palvelun oikeasta yläkulmasta löytyy myös Ohje-painike, mutta puolijohdekyselyn tarvittavat ohjeet on kuvattu itse kyselysivuilla ja sinun ei tarvitse välittää oikean yläkulman Ohje-painikkeen takaa löytyvistä ohjeista.
    2/8 Raportointivuosi ja yhteystiedot

      RAPORTOINTIVUOSI

      Raportointivuosi
      Raportointivuosi on vuosi, jonka tietoja raportoidaan, eli edellinen päättynyt kalenterivuosi.

      YHTEYSTIEDOT

      Yritys/toiminnanharjoittaja

      Y-tunnus
      Merkkejä jäljellä: 20
      Yrityksen nimi
      Merkkejä jäljellä: 100
      Osoite
      Merkkejä jäljellä: 100
      Postinumero
      Merkkejä jäljellä: 10
      Postitoimipaikka
      Merkkejä jäljellä: 100
      Sähköposti
      Merkkejä jäljellä: 100
      Puhelinnumero
      Merkkejä jäljellä: 50

      Yhteyshenkilö

      Nimi
      Merkkejä jäljellä: 100
      Sähköposti
      Merkkejä jäljellä: 100
      Puhelinnumero
      Merkkejä jäljellä: 50
      3/8 Puolijohteiden valmistuksessa käytetyt kaasut 1/2

        FLUORATTUJEN KASVIHUONEKAASUJEN JA DITYPPIOKSIDIN KÄYTTÖ PUOLIJOHTEIDEN VALMISTUKSESSA

        Käyttikö yrityksenne fluorattuja kasvihuonekaasuja tai dityppioksidia puolijohteiden valmistuksessa raportointivuonna?

        Mikäli vastasit 'Kyllä', painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' siirryt syöttämään puolijohteiden valmistuksessa käytettyjen kaasujen tiedot. Mikäli vastasit 'Ei', painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' siirryt kyselyn seuraavaan osioon.
        4/8 Puolijohteiden valmistuksessa käytetyt kaasut 2/2

          FLUORATTUJEN KASVIHUONEKAASUJEN JA DITYPPIOKSIDIN KÄYTTÖ PUOLIJOHTEIDEN VALMISTUKSESSA

          Täytä kaasujen määrätiedot kilogrammoina. Kaasuista F2, COF2 ja ClF3 eivät ole fluorattuja kasvihuonekaasuja, mutta ne saattavat muodostaa CF4-kaasua kammioiden puhdistuksen yhteydessä. Mikäli olette käyttäneet puolijohteiden valmistuksessa jotakin muuta fluorattua kasvihuonekaasua, kuin alla mainitut, täytä kaasun tiedot Muu, mikä?-kohtaan.
          CF4 (cas-numero 75-73-0) (kg)
          C2F6 (cas-numero 76-16-4) (kg)
          C3F8 (cas-numero 76-19-7) (kg)
          c-C4F8 (cas-numero 115-25-3) (kg)
          C4F8O (cas-numero 335-42-2) (kg)
          C4F6 (cas-numero 685-63-2) (kg)
          C5F8 (cas-numero 559-40-0) (kg)
          CHF3 (cas-numero 75-46-7) (kg)
          CH2F2 (cas-numero 75-10-5) (kg)
          NF3 (cas-numero 7783-54-2) (kg)
          SF6 (cas-numero 2551-62-4) (kg)
          N2O (cas-numero 10024-97-2) (kg)
          F2 (cas-numero 7782-41-4) (kg)
          COF2 (cas-numero 353-50-4) (kg)
          ClF3 (cas-numero 7790-91-2) (kg)
          Muu, mikä?
          Merkkejä jäljellä: 50
          Muu (kg)
          5/8 Lämmönsiirtonesteiden käyttö 1/2

            LÄMMÖNSIIRTONESTEIDEN KÄYTTÖ PUOLIJOHTEIDEN VALMISTUKSESSA, TESTAUKSESSA TAI LAITTEISTOJEN PUHDISTAMISESSA

            Käyttikö yrityksenne lämmönsiirtonesteitä (mm. Fluorinert tai Galden) puolijohteiden valmistuksessa, testauksessa tai laitteistojen puhdistamisessa raportointivuonna?

            Mikäli vastasit 'Kyllä', painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' siirryt syöttämään lämmönsiirtonesteiden tiedot. Mikäli vastasit 'Ei', painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' siirryt kyselyn seuraavaan osioon.
            6/8 Lämmönsiirtonesteiden käyttö 2/2

              LÄMMÖNSIIRTONESTEIDEN KÄYTTÖ PUOLIJOHTEIDEN VALMISTUKSESSA, TESTAUKSESSA TAI LAITTEISTOJEN PUHDISTAMISESSA

              Täytä tiedot erikseen jokaiselle käyttämällenne lämmönsiirtonesteelle. Valitse ensin käytetty lämmönsiirtoneste. Mikäli valitsit 'Muu, mikä?', kirjoita lämmönsiirtonesteen nimi tätä varten avautuvaan kenttään. Syötä tämän jälkeen yrityksenne käyttämät tai varastoimat lämmönsiirtonestemäärät litroina. Tallenna tiedot painamalla painiketta 'Tallenna ja syötä uusi'. Tämän jälkeen voit syöttää mahdollisten muiden lämmönsiirtonesteiden tiedot samalla tavalla. Tallennetut tiedot näkyvät taulukkona sivun alareunassa. Mahdollisen virheellisen raportoitavan tiedon voi poistaa painamalla painiketta 'Poista vastauskerta'. Täytettyäsi kaikkien lämmönsiirtonesteiden tiedot, siirry kyselyn seuraavaan osioon painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava'.
              Lämmönsiirtoneste
              Pulloissa/säiliöissä ollut lämmönsiirtonesteen määrä vuoden 2019 lopussa
              Vuoden 2020 aikana yritykseenne ostettu lämmönsiirtonesteen määrä
              Vuoden 2020 aikana toimittajalle palautettu lämmönsiirtonesteen määrä
              Uusiin laitteisiin täytetty lämmönsiirtonesteen määrä vuonna 2020
              Laitteistojen käytöstäpoiston tai myynnin yhteydessä talteenotettu lämmönsiirtonesteen määrä vuonna 2020
              Hävitykseen toimitettu lämmönsiirtonesteen määrä vuonna 2020
              Pulloissa/säiliöissä ollut lämmönsiirtonesteen määrä vuoden 2020 lopussa
              7/8 Liitteet

                LIITTEET

                Jos haluat liittää vastaukseesi liitetiedostoja, voit tehdä sen tässä kohdassa. Mikäli liitettäviä tiedostoja ei ole, painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava' siirryt kyselyn seuraavaan osioon.

                Liitetiedostojen tulee olla avattavissa yleisimmillä ohjelmilla, kuten Microsoft Office -järjestelmän ohjelmat tai Adobe Acrobat. Liitetiedoston enimmäiskoko on 5 MB. Liitetiedostot tarkistetaan haittaohjelmien varalta. Vastaanottaja pidättää oikeuden poistaa mahdolliset haittaohjelmat liitetiedostoista. Liitetiedostoissa ei saa olla suoritettavaa koodia eikä ohjelmia, esim. makroja.

                Liitetiedosto haetaan 'Valitse'-painikkeen avulla. Haettuasi tiedoston, paina painiketta 'Lataa tiedosto järjestelmään' ja sen jälkeen sivun alareunassa olevaa painiketta 'Tallenna ja syötä uusi', jolloin tiedosto tallentuu kyselyyn. Tämän jälkeen voit hakea mahdolliset muut liitetiedostot samalla tavalla. Tallennetut liitetiedostot näkyvät taulukkona sivun alareunassa. Mahdollisen virheellisen liitetiedoston voi poistaa painamalla painiketta 'Poista vastauskerta'. Haettuasi kaikki liitetiedostot, siirry kyselyn seuraavaan osioon painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Seuraava'.
                Liitetiedosto
                Poista liite
                Hyväksytyt tiedostomuodot:
                csv, doc, docx, gif, ics, jpeg, jpg, mov, mpeg, pdf, pdf, png, ppt, pptx, swf, txt, wmv, xls, xlsx
                Tiedoston enimmäiskoko: 5 Mb
                8/8 Palaute ja kyselyn lähetys

                  PALUTE JA KOMMENTIT

                  Otamme mielellämme vastaan mahdolliset kyselyä tai kyselylomaketta koskevat kommenttinne.
                  Palaute
                  Merkkejä jäljellä: 1000

                  KYSELYN LÄHETYS

                  Lähetä kysely painamalla sivun oikeassa alareunassa olevaa painiketta 'Lähetä'.

                  LISÄTIETOJA KYSELYSTÄ

                  Suunnittelija Tommi Forsberg, Suomen ympäristökeskus, Kulutuksen ja tuotannon keskus/Teollisuuden ympäristönsuojelu, etunimi.sukunimi@syke.fi, puhelin +358 295 251 116.